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◆特 徴
摩擦係数:0.02〜0.06と非常に低い値を示します。
密着性:スクラッチ試験による臨界荷重値は、70N以上を示します。
硬さ:マイクロビッカース測定値は、500Hv以上を示します。
耐熱温度:300℃まで優れた摺動性を示します。
膜厚:1.5〜2.0μm(中間層含む)
表面抵抗:0.1〜0.2Ω
複合性:TiNなどの膜と組み合わせることにより、優れた摺動特性を得ることが可能です。

MOST/TiN 複合膜 |

MOST膜 |
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※Close Field Unbalanced
Magnetron Sputter Ion Plating system |